“郭永懷(huai)論壇”第五講----尹志堯

(2018-11-2)

          10月31日至11月1日，應化學與材料科學學院邀請，中微半導體設備公司董事長、首席執行官、我校化學物理系62級校友尹志堯先生，為我院師生作題為“半導體設備產業的歷史和發展趨勢”的報告，該報告是校慶60周年邀請報告與“郭永懷論壇”的第五講，并舉辦了系列交流座談活動，向師生普及國際和我國半導體行業發展現狀，激勵師生扎實基礎研究，關注科學發展前沿領域(yu)，學以致用，為我國在尖端科技(ji)領域(yu)趕超國際水平貢獻力量。

            報告會于(yu)10月31日晚上(shang)18:30在理化大樓西三報告廳舉行，學院(yuan)黨委(wei)書記葛學武、副院(yuan)長胡(hu)水明(ming)、副院(yuan)長劉世勇、院(yuan)黨委(wei)副書記閆立峰、化學物理系系總支書記李群祥，以及(ji)學院(yuan)本科生、研究生和青年教師300余人聆(ling)聽了報告。

       報(bao)告會(hui)由胡水明副(fu)院長主持，他(ta)代(dai)表學(xue)院熱(re)烈歡迎尹(yin)志堯先生的到來，并(bing)對尹(yin)志堯先生和中(zhong)微半(ban)導體設(she)備公司進(jin)行了介紹。

             尹(yin)志堯回顧了(le)(le)自(zi)己考入(ru)中國(guo)金宝搏入口188的(de)經歷(li)，表示非常(chang)欣(xin)慰看到金宝搏入口188在(zai)188bet金宝搏在线和(he)(he)(he)人才培養上取得的(de)成(cheng)就。他說，很多金宝搏入口188畢(bi)業(ye)(ye)的(de)校友為半(ban)(ban)導(dao)體行業(ye)(ye)做出了(le)(le)重(zhong)要(yao)貢獻(xian)，中微(wei)(wei)半(ban)(ban)導(dao)體設(she)(she)(she)備(bei)公(gong)司(si)有14位金宝搏入口188畢(bi)業(ye)(ye)生(sheng)，在(zai)公(gong)司(si)的(de)各方(fang)面起(qi)到了(le)(le)關鍵作(zuo)用，尤其是在(zai)技(ji)術(shu)研發(fa)(fa)領域。隨后，尹(yin)志堯介紹(shao)了(le)(le)半(ban)(ban)導(dao)體微(wei)(wei)觀加(jia)工設(she)(she)(she)備(bei)的(de)重(zhong)要(yao)性(xing)、集(ji)成(cheng)電路和(he)(he)(he)設(she)(she)(she)備(bei)產業(ye)(ye)的(de)歷(li)史(shi)、集(ji)成(cheng)電路的(de)制成(cheng)和(he)(he)(he)發(fa)(fa)展(zhan)趨勢(shi)(shi)、微(wei)(wei)觀加(jia)工的(de)關鍵設(she)(she)(she)備(bei)、集(ji)成(cheng)電路制造和(he)(he)(he)設(she)(she)(she)備(bei)產業(ye)(ye)的(de)挑(tiao)戰性(xing)、我(wo)國(guo)集(ji)成(cheng)電路和(he)(he)(he)設(she)(she)(she)備(bei)產業(ye)(ye)的(de)發(fa)(fa)展(zhan)形勢(shi)(shi)、中微(wei)(wei)半(ban)(ban)導(dao)體設(she)(she)(she)備(bei)公(gong)司(si)的(de)發(fa)(fa)展(zhan)概況和(he)(he)(he)對(dui)未來(lai)第三次工業(ye)(ye)革命的(de)暢想，使在(zai)場師生(sheng)對(dui)半(ban)(ban)導(dao)體產業(ye)(ye)的(de)發(fa)(fa)展(zhan)歷(li)史(shi)、基本技(ji)術(shu)原理、發(fa)(fa)展(zhan)重(zhong)要(yao)性(xing)、國(guo)際前(qian)(qian)沿技(ji)術(shu)水平和(he)(he)(he)半(ban)(ban)導(dao)體產業(ye)(ye)在(zai)我(wo)國(guo)的(de)發(fa)(fa)展(zhan)現狀及發(fa)(fa)展(zhan)前(qian)(qian)景有了(le)(le)更加(jia)深入(ru)的(de)認識。

             報告內容豐富、全面，時(shi)(shi)(shi)間(jian)長達三(san)個多小(xiao)時(shi)(shi)(shi)，報告中(zhong)通過舉(ju)例、講解模型圖(tu)、結合(he)自己(ji)(ji)親身經歷(li)等(deng)方式，幫助大(da)家(jia)更(geng)好地理解半導(dao)體(ti)行業的(de)(de)(de)相關知(zhi)識。在(zai)講解微觀(guan)加工的(de)(de)(de)重要(yao)性時(shi)(shi)(shi)，尹(yin)志堯描述了自己(ji)(ji)在(zai)北京大(da)學(xue)求學(xue)時(shi)(shi)(shi)所見(jian)到(dao)(dao)的(de)(de)(de)我國1955年(nian)制成(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)首個電(dian)子管計算(suan)機的(de)(de)(de)外觀(guan)，經過科學(xue)家(jia)們(men)(men)兩個30年(nian)的(de)(de)(de)努力，已經將微觀(guan)器(qi)(qi)件的(de)(de)(de)面積縮(suo)小(xiao)一萬億倍，讓大(da)家(jia)切實感受到(dao)(dao)微觀(guan)加工對科技(ji)變(bian)革的(de)(de)(de)重要(yao)影響；在(zai)介紹等(deng)離(li)子體(ti)反(fan)應器(qi)(qi)和等(deng)離(li)子體(ti)刻蝕技(ji)術(shu)的(de)(de)(de)基本(ben)(ben)原(yuan)理時(shi)(shi)(shi)，他(ta)詳細(xi)列(lie)(lie)出了同(tong)學(xue)們(men)(men)所熟(shu)知(zhi)的(de)(de)(de)氣體(ti)動力學(xue)、化(hua)(hua)學(xue)反(fan)應動力學(xue)、材(cai)料(liao)科學(xue)等(deng)七個涉及(ji)到(dao)(dao)的(de)(de)(de)基本(ben)(ben)技(ji)術(shu)領域和物(wu)理轟擊(ji)、化(hua)(hua)學(xue)刻蝕、化(hua)(hua)學(xue)沉積三(san)個基本(ben)(ben)過程，將前(qian)(qian)沿設備產(chan)品(pin)與(yu)同(tong)學(xue)們(men)(men)所學(xue)的(de)(de)(de)基礎知(zhi)識相結合(he)，既讓同(tong)學(xue)們(men)(men)理解了產(chan)品(pin)的(de)(de)(de)技(ji)術(shu)原(yuan)理，又讓他(ta)們(men)(men)明白了學(xue)好數(shu)學(xue)、物(wu)理和化(hua)(hua)學(xue)基礎知(zhi)識的(de)(de)(de)重要(yao)性；在(zai)講述當前(qian)(qian)集成(cheng)(cheng)電(dian)路制造和設備產(chan)業的(de)(de)(de)挑戰時(shi)(shi)(shi)，他(ta)列(lie)(lie)舉(ju)了目前(qian)(qian)在(zai)HAR刻蝕中(zhong)因受表(biao)面電(dian)荷影響而產(chan)生的(de)(de)(de)刻蝕孔變(bian)形的(de)(de)(de)問題(ti)(ti)，并表(biao)示目前(qian)(qian)半導(dao)體(ti)產(chan)業還有許多關鍵性問題(ti)(ti)等(deng)待大(da)家(jia)去研究解決(jue)。

             尹志堯認為(wei)，目前人(ren)類(lei)已經開始進入第三次(ci)工業革命，并(bing)在未(wei)來原(yuan)生(sheng)人(ren)的健(jian)康與壽命、機械人(ren)和克隆(long)生(sheng)物制造等方面(mian)展開了(le)了(le)豐富的暢想，引發(fa)了(le)同學(xue)們對(dui)未(wei)來“超人(ren)化”發(fa)展的興趣(qu)。報告中，他注(zhu)重與現(xian)場師生(sheng)互(hu)動，語言風趣(qu)幽默，現(xian)場氣(qi)氛十(shi)分活躍，全場座無虛席。在提問(wen)交流(liu)環節，學(xue)生(sheng)們針對(dui)半(ban)導體產業的發(fa)展和尹志堯先生(sheng)的個(ge)人(ren)經歷，踴躍提問(wen)，尹志堯先生(sheng)一一給予了(le)耐(nai)心細致的解(jie)答。

            報告結束后，胡水(shui)明副(fu)院(yuan)長為尹志堯先生(sheng)授紀(ji)念(nian)牌。