吳漢明

1952年6月出生，中國工程院院士。微電子工藝技術專家，中芯國際集成電路制造有限公司技術研發副總裁，燦芯創智微電子技術（北京）有限公司總裁。

（一）  學習(xi)經歷

1976年，從188bet足球畢業(ye)；

1978年，成為“文革”后第(di)一批碩士研究生；

1987年(nian)，從中國(guo)科學(xue)院力(li)學(xue)研究所(suo)畢業，獲得(de)等離(li)子體和磁流(liu)體力(li)學(xue)博士學(xue)位。

（二）  社會(hui)任職

2010年，北京市經(jing)濟(ji)開(kai)發區首批特聘專(zhuan)家；

2012年11月，北京市第十四屆人民代表大會代表 ；

2014年06月，河北工業大學榮譽教授；

2019年12月20日，全國集成電路“創業之芯”大賽專委會成員，北京大學軟件與微電子學院集成電路與智能系統系系主任。

（三）  主要研(yan)究

主要從事(shi)高(gao)密度等離子體深亞微米刻蝕研究。

研發了世界上第(di)一套可(ke)以進行等離子體工藝模擬的商業軟(ruan)件并得到廣泛使用(yong)。

2001年進入中芯國際集成電路制造（北京）有限公司后，組建了先進刻蝕技術工藝部，領導了0.13微米刻蝕工藝，在中國實現了用于大生產的雙鑲嵌法制備工藝，為中國首次實現銅互連提供了工藝基礎。

（四）獲得獎項

2008年(nian)國家科技進(jin)步獎二等獎（第二完成人）；

2013年國家(jia)科技(ji)進(jin)步獎二等獎（第一完成人）；

2013年(nian)北京市首批“北京學者”；

2014年第五屆(jie)全國杰出專業技術人才(cai)。